摘要:基于非接触高测量精度、便于使用等特点,激光三角法测距在科研和工业生产实践中已获得了广泛的应用。 位移测量 是通过激光斑在成像光敏面上的位移来决定的,在不同的应用中两者之间多项式拟合的参数选择也往往不同,选择合适的多项 式,实现快速、高精度测量对不同的应用有很重要的意义。 本文针对激光三角法位移测量被测面位移量 y 与成像光斑在光敏面 上位移量 x 之间的非线性关系,系统分析了 y 作为 x 的函数用多项式拟合过程中的误差来源,实验搭建了一台小型激光三角位 移传感器,根据实验测量数据,验证了搭建的激光三角位移测量装置满足 Scheimflug 条件,根据实验测量值和多项式拟合计算 的位移值,定义了一个评判拟合质量的质量因子 Q,通过计算 Q,确定了最佳多项式拟合。