摘要:针对基于固定光栅和阵列探测器的常规微型近红外光谱仪成本高、光谱范围窄等问题,提出了一种基于集成扫描光 栅微镜的双探测器微型近红外光谱仪。 该系统采用自制的集成扫描光栅微镜作为核心分光部件,可同时实现扫描与分光功 能,光学系统设计利用两个聚焦镜和两个 InGaAs 单管探测器的空间布局避免不同光路之间的相互干扰,可实现双通道同时、 独立工作,此外双通道探测器前内置不同截止波长的带通滤色片消除光谱重叠。 采用光线追迹法建立了理论模型计算光学 系统的初始结构参数;利用 ZEMAX 完成了光学系统的优化设计并给出优化结构参数。 测试结果表明,该仪器工作波长范 围:800 ~ 2 532 nm,分辨率:小于 12 nm(800 ~ 1 600 nm) 、小于 17 nm(1 600 ~ 2 532 nm) ,整体尺寸:145 mm×135 mm×75 mm, 具有宽光谱、小体积、低成本等优势。