摘要:采用集成光学技术,设计与研制出了一种用于大电流测量的集成光波导电流传感器,器件体积为 78 mm×18 mm×9 mm。 对带有多环形天线和调制电极的传感器结构进行了理论分析,并利用 COMSOL Multiphysics 软件建立传感器的三维模型,仿真 验证了所设计的传感器可用于脉冲大电流的测量。 搭建了脉冲大电流测量实验系统,对传感器性能进行测试。 结果表明,传感 器测量得到的脉冲电流时域波形与 Pearson 电流互感器测量得到的脉冲电流时域波形相比,波前时间 Tf 和持续时间 Td 的平均 相对误差分别为 3. 977 5% 和 5. 437 5% 。 传感器在 100 ~ 3 300 A 的被测电流范围内,线性相关系数为 0. 998 97,当信噪比为 6 dB 时,传感器最小可测电流为 66 A。