摘要:设计一种基于零极点补偿的比例积分控制器,用于 MEMS 环形振动陀螺的检测模态闭环回路控制。 文章分别分析了 环形陀螺仪机械灵敏度、带宽与陀螺仪模态之间谐振频率差值、品质因数的关系,并通过伯德图分析了零极点与陀螺带宽的关 系。 设计了基于零极点补偿的比例积分控制器(PZ-PIC),通过在检测闭环回路中使用该控制器,可以拓展陀螺仪的带宽,解决 环形陀螺仪机械带宽与机械灵敏度相互矛盾的问题。 提出的新型控制器具有参数少,参数确定简单等优点,适用于 MEMS 陀 螺仪的批量化生产。 经过实验验证,3 只陀螺仪样机带宽均得到有效拓展,拓展后带宽超过 90 Hz。