摘要:倾角传感器作为重要的角度测量仪器,广泛应用于航空航天器姿态监测等领域。 高分辨率、高灵敏度的倾角传感器是 准确角度获取的前提,但现有倾角传感器难以摆脱摩擦造成的精度影响,制约其在精密测量领域应用。 提出一种基于电磁感应 的抗磁悬浮倾角传感器,具有高分辨率和非接触测量的特点。 通过采用抗磁性物质作为敏感元件,构建具有势能阱的永磁体阵 列,实现敏感元件稳定悬浮;基于测量单元与敏感元件间电磁感应效应,敏感元件悬浮位置随倾角改变而变化的特点,提出倾角 测量原理;搭建实验平台进行传感器性能测试。 实验表明倾角传感器可以实现双轴±1. 3°范围倾角测量,分辨率为 0. 005°, 线性度为 0. 18% ,在微小倾角精密测量领域具有广阔应用价值。